用于電子光學光電半導體新能源等行業的無塵車間，是将一定空間範圍内的空氣塵埃粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并将室内溫度、潔淨度、室内壓力、氣流速度與(yǔ)氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一特定需求範圍内，而專門設計建(jiàn)造的生産車間。即是具有無論外在空氣條件如何變化，其室内環境均能具有維持原先所設定要求的潔淨度、溫濕度及壓力等性能特點(diǎn)。
一、電子無塵車間設計依據
1、《潔淨廠房設計規(guī)範》 GB50073-2001
2、《實驗室生物安全通用要求》 GB19489-2004
3、《建(jiàn)築内部(bù)裝修設計防火規(guī)範》 GB50222-1995
4、《建(jiàn)築設計防火規(guī)範》 GB50016-2006
5、《潔淨室施工及驗收(shōu)規(guī)範》 JGJ71-1990
6、《通風與(yǔ)空調工程施工及驗收(shōu)規(guī)範》 GB 50243-2002
7、《暖通空調制圖标準》 GB/T50114-2001
8、《供配電設計規(guī)範》 GB50052-1995
9、《通用用電配電設計規(guī)範》 GB 50053-1993
二、電子無塵車間區域布局設計
無塵車間是根據生産需要進行的般來說，無塵車間可以設計爲三個區域:一般作業區、準潔淨區和潔淨區。
一般作業區(非清潔區):一般原材料、成品倉庫、包裝材料倉庫、外包裝車間、成品倉庫等一般原材料、成品及工具儲存區、包裝成品轉運區、成品區風險(xiǎn)較低的區域。
準潔淨區:對(duì)潔淨度要求低，可以不設立二次更衣，如原材料儲存、包裝材料處理、包裝、緩沖間(拆包間)、一般生産加工間、包裝間等成品處理但不直接暴露的區域。
準潔淨作業區: 淨化環境要求最高，人員進入前必須消毒換衣。成品裸露加工區、成品冷加工區、成品待包裝區、成品内包裝區等。
三、十萬級電子無塵車間淨化等級參數(shù)
1、細顆粒物較大容許數(shù)(每立方)：大于或等于0.5μm的微粒數(shù)不能超過350000個，大于或等于5μm的微粒數(shù)不能超過30000個。
2、微生物菌種較大容許數(shù)：浮遊菌數(shù)不能超過500個每立方；沉降菌數(shù)不能超過10個每細胞培養皿。
3、壓力差：同樣潔淨室等級的淨化室壓力差保持一緻，針對(duì)不一樣清潔級别的鄰近淨化室中間壓力差要≥5Pa，淨化室和非淨化室中間要≥10Pa。
4、溫濕度記錄規(guī)定：十萬級淨化室對(duì)環境溫度、環境濕度無特别要求時，以衣着潔淨工作服不造成難受感爲宜，環境溫度一般調節在冬天20~22℃，夏天24~26℃，起伏±2℃。冬天淨化室環境濕度操縱在30-50%，夏天淨化室環境濕度操縱在50- 70%
5、配電設備：淨化室的具體生産制造用地一般光照強度值宜≥300Lx；協助個人工作室、工作人員淨化處理和材料淨化處理專室、氣閘室、過道等的光照強度值宜爲200~300Lx。
6、中央空調爲風冷模塊機空調，設計環境溫度≤26℃，環境濕度≤50%。
7、新風系統填補量：總送排風量的20%-30%；
8、光照強度高于或等于300Lux。
9、換氣次數(shù)：100000級≥25次；
四、十萬級電子無塵車間裝修工程施工
1.無塵車間裝修工程必須在各專業工種施工之間制定嚴格的施工程序，一般按照設計圖紙、牆體安裝、電路預(yù)埋、吊頂、淨化通風管道、門窗、嵌縫處理、地面等系列
2.在無塵車間建(jiàn)築裝修施工過程中，必須随時清理灰塵，并對(duì)隐蔽空間(如天花闆、夾牆内部(bù)等)進行清理，确(què)保無塵車間施工中的隐蔽處無衛生死角。
3.對(duì)安裝已完成的牆體吊頂工程表面應得到保護，避免闆材凹陷、暗裂、牆體表面不得因碰撞、敲打、踩踏、多水作業等原因造成污染。
4.無塵車間牆體結構結合及陰陽角内圓弧、外圓柱部(bù)位嵌入密封膠前，應清除基槽内的雜質和油污，保持表面幹燥。
5.無塵車間臨時設置的設備入口不使用時應關閉，防止灰塵和雜物進入。
6、施工現場應确(què)保良好的通風和照明。對(duì)于重(zhòng)建(jiàn)工程，在施工前應識(shí)别并切斷原有電源和易燃、易爆和有毒氣體管道，并對(duì)工藝生産過程中使用的腐蝕性液體采取安全保護措施

十萬級電子無塵車間	百級半導體無塵車間